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基于正解过程的Risley棱镜光束指向控制精度分析 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 507-513
作者:  张鲁薇;  王卫兵;  王锐;  王挺峰;  郭劲
caj(786Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：383/101  |  提交时间：2018/04/09
光束指向  Risley棱镜  控制精度  正解  界定限  
长春光机所极紫外多层膜膜厚分布超高精度控制研究获进展 期刊论文
硅酸盐通报, 2015, 期号: 12, 页码: 3556
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caj(74Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：238/77  |  提交时间：2016/07/06
高精度控制  应用光学  光机所  遗传算法  控制精度  面形误差  国家重点实验室  分布控制  磁控溅射  投影物镜  
自适应光学系统中倾斜镜的自适应逆控制 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2203-2210
作者:  王玉坤;  胡立发;  王冲冲;  王少鑫;  宣丽
caj(386Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：264/109  |  提交时间：2016/07/06
自适应光学系统  倾斜镜  自适应逆控制  迟滞非线性  控制精度