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运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究
王学亮; 李佩玥; 郑楠; 崔洋
2014-10-15
发表期刊电子测量技术
期号10页码:33-36
摘要为了在光刻机投影物镜中使用压电陶瓷对像质补偿镜组进行精密定位,设计了一种以集成运算放大器构成的压电陶瓷驱动电路。针对光刻物镜中压电陶瓷的亚微米量级高精度定位要求,研究了驱动电路的系统精度要求,并对系统误差进行分解,着重分析了运算放大器放对系统精度的影响。首先,分析运放失调误差的影响;其次,使用PSpice仿真获得运放的固有频率特性,分析工作带宽下运放有限开环增益的影响;然后,对运放反馈网络的影响进行分析;最后,分析运放输出噪声的影响。计算表明,在最坏情况下该压电陶瓷驱动电路中由运算放大器引起的系统误差小于130mV,满足系统误差分配的要求。试制了系统样机并进行了验证实验,实验结果表明由运放引起的系统误差不超过100mV,与理论分析的结果符合。
关键词光刻物镜 压电陶瓷 驱动电路 误差分析 亚微米
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/43540
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王学亮,李佩玥,郑楠,等. 运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究[J]. 电子测量技术,2014(10):33-36.
APA 王学亮,李佩玥,郑楠,&崔洋.(2014).运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究.电子测量技术(10),33-36.
MLA 王学亮,et al."运放对压电陶瓷驱动电路系统精度影响的研究".电子测量技术 .10(2014):33-36.
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