Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种光刻投影物镜微调平机构 | |
向阳 ; 齐克奇
| |
| 专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 公开日期 | 2014-03-12 |
| 授权国家 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 摘要 | 一种光刻机投影物镜微调平机构涉及投影光刻技术领域，该机构主要由安装基板、三个支撑调整杠杆机构、安装件和固定件构成，每个支撑调整杠杆机构由杠杆安装底座、调节杠杆、调整螺钉、轴、轴端盖、预紧弹簧和调整螺母等构成；支撑调整杠杆机构通过固定件将杠杆安装底座与安装基板固定，并通过安装件将物镜法兰和调节杠杆前端连接。本发明的有益效果是：该微调平机构采用三点支撑方式均匀分布在物镜边缘，通过支撑调整杠杆机构不仅可以提高螺纹调节的精度，还可以减小螺纹上所承受的载荷，并且可以根据不同的精度要求来设定杠杆的放大系数。 |
| 专利状态 | 公开 |
| 申请号 | 201110095516.5 |
| 文献类型 | 专利 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39169 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 向阳,齐克奇. 一种光刻投影物镜微调平机构. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 201110095516.pdf（513KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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