Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 基于相位复原技术测试高数值孔径光学成像系统 | |
邵晶; 马冬梅
| |
| 2013-01-15 | |
| 发表期刊 | 应用光学
 |
| 期号 | 01页码:105-110 |
| 摘要 | 干涉测量的方法已被广泛应用于光学系统的波前测试中。但是由于高数值孔径的标准具加工成本高、风险大,使用干涉测量的方法对高数值孔径光学系统进行测试存在困难。运用相位复原技术对高数值以小孔衍射光束作为高精度测试基准波前进行孔径光学系统波前测试,可以解决上述问题。对不同频率波前形成的点扩散函数模拟,分析了实际测试所需的实验条件。由于缺乏高精度的对比实验条件,引入一种新的误差分析方法,搭建检测平台完成对显微镜光学系统的波前测试。通过验证实验,证明了该测试方法的可靠性。 |
| 关键词 | 高数值孔径光学系统 干涉仪 波前测试 扩展奈波尔-泽尼克理论 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38786 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邵晶,马冬梅. 基于相位复原技术测试高数值孔径光学成像系统[J]. 应用光学,2013(01):105-110. |
| APA | 邵晶,&马冬梅.(2013).基于相位复原技术测试高数值孔径光学成像系统.应用光学(01),105-110. |
| MLA | 邵晶,et al."基于相位复原技术测试高数值孔径光学成像系统".应用光学 .01(2013):105-110. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 基于相位复原技术测试高数值孔径光学成像系（582KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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