Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿 | |
张敏; 田伟 ; 彭吉; 隋永新; 杨怀江
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| 2013-09-15 | |
| 发表期刊 | 光电子.激光
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| 期号 | 09页码:1745-1751 |
| 摘要 | 为减少子孔径拼接干涉检测中机械精度引起的定位误差对检测结果造成的影响,在一般的调整误差拼接算法上加入机械定位误差的补偿项,建立了补偿机械误差的综合优化方法。针对参考面未知的拼接干涉检测,研究了应用极大似然估计法拟合出用Zernike多项式表示参考面面形分布的方法,在除去参考面面形后采用补偿机械误差的算法拼接。模拟对比实验表明,在相同的机械精度下,机械误差补偿算法得到的全口径相位差异分布均方根(RMS)值减少到近一般调整误差拼接法的1/6,机械误差补偿算法拼接精度高于一般调整误差拼接法。在搭建的拼接检测装置上检测口径为280mm的平面镜,与大口径干涉仪检测的全口径相位差异分布的峰谷(PV)值为0.099 4λ,RMS值为0.006 8λ,验证了综合优化方法在重构参考面面形基础上能有效补偿机械定位误差。 |
| 关键词 | 拼接干涉检测 机械定位误差 补偿算法 参考面面形 |
| 收录类别 | CNKI |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38391 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张敏,田伟,彭吉,等. 子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿[J]. 光电子.激光,2013(09):1745-1751. |
| APA | 张敏,田伟,彭吉,隋永新,&杨怀江.(2013).子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿.光电子.激光(09),1745-1751. |
| MLA | 张敏,et al."子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿".光电子.激光 .09(2013):1745-1751. |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿.（6601KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 浏览 下载 | |||
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