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高面形精度标准镜自重变形的补偿技术 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2016, 期号: 4
作者:  朱岩;  田伟;  方斌;  武东城
caj(1242Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：262/99  |  提交时间：2017/09/17
自重变形  补偿  胶粘  参考面面形  仿真优化  
Φ300mm平面标准镜高精度支撑关键技术 期刊论文
激光与光电子学进展, 2015, 期号: 09, 页码: 279-285
作者:  方斌;  田伟;  王汝冬;  朱岩;  张永凯;  王飞
caj(1539Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：272/107  |  提交时间：2016/07/06
光学设计  光学检测  平面标准镜  有限元法  参考面面形  
子孔径拼接干涉检测中机械定位误差的补偿 期刊论文
光电子.激光, 2013, 期号: 09, 页码: 1745-1751
作者:  张敏;  田伟;  彭吉;  隋永新;  杨怀江
caj(6601Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：372/63  |  提交时间：2014/03/07
拼接干涉检测  机械定位误差  补偿算法  参考面面形