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罗兰全息光栅线密度误差分析与控制
崔锦江; 孔鹏; 王帆; 檀慧明
2013-02-10
发表期刊激光与光电子学进展
期号02页码:110-114
摘要分析了罗兰光栅帕邢-龙格结构中光栅线密度误差对波长精度的影响。提出一种利用参考光栅在线检测罗兰全息光栅干涉场条纹密度的方法。将具有标准线密度的参考光栅放置在干涉场内曝光位置,通过检验曝光光束的自准直衍射光与空间滤波器中针孔位置的重合度来判断干涉场条纹密度误差。推导了干涉场条纹密度误差与曝光光束自准直衍射光偏移量的解析表达式,发现干涉场条纹密度误差与曝光光束自准直衍射光偏移量、罗兰光栅曲率半径和曝光光束波长有关。以曲率半径750.2mm的罗兰光栅为例,当采用441.6nm激光建立光路时,利用此方法可将干涉场条纹密度误差调整至0.035grooveμ排m以内。
关键词全息术 光谱仪 衍射光栅 罗兰圆 帕邢-龙格结构 线密度误差
收录类别CNKI
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38249
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
崔锦江,孔鹏,王帆,等. 罗兰全息光栅线密度误差分析与控制[J]. 激光与光电子学进展,2013(02):110-114.
APA 崔锦江,孔鹏,王帆,&檀慧明.(2013).罗兰全息光栅线密度误差分析与控制.激光与光电子学进展(02),110-114.
MLA 崔锦江,et al."罗兰全息光栅线密度误差分析与控制".激光与光电子学进展 .02(2013):110-114.
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