Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计 | |
巩岩
| |
| 2011-01-20 | |
| 发表期刊 | 光学 精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 19期号:1页码:29-34 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3725 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 巩岩. 深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计[J]. 光学 精密工程,2011,19(1):29-34. |
| APA | 巩岩.(2011).深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计.光学 精密工程,19(1),29-34. |
| MLA | 巩岩."深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计".光学 精密工程 19.1(2011):29-34. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 深紫外光刻照明系统光束整形单元的设计.p（419KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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