Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究 | |
张立超 | |
2011-07-20 | |
发表期刊 | 光机电信息 |
ISSN | 1007-1180 |
卷号 | 28期号:7页码:16-20 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/3648 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张立超. 多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究[J]. 光机电信息,2011,28(7):16-20. |
APA | 张立超.(2011).多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究.光机电信息,28(7),16-20. |
MLA | 张立超."多层膜沉积对光栅衬底槽形影响研究".光机电信息 28.7(2011):16-20. |
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