Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制 | |
吴一辉; 杨宜民 | |
1999-02-20 | |
发表期刊 | 仪器仪表学报 |
期号 | 01页码:92-93+108 |
关键词 | 压电定位 电荷控制 谐波线性化 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32528 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉,杨宜民. 压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制[J]. 仪器仪表学报,1999(01):92-93+108. |
APA | 吴一辉,&杨宜民.(1999).压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制.仪器仪表学报(01),92-93+108. |
MLA | 吴一辉,et al."压电微定位系统的纳米分辨率线性化控制".仪器仪表学报 .01(1999):92-93+108. |
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