Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜 | |
王国田; 马月英; 曹健林 | |
1999-10-30 | |
发表期刊 | 光学仪器 |
期号 | Z1页码:22-26 |
关键词 | 软x射线多层膜 离子束溅射 反射率计 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/32150 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王国田,马月英,曹健林. 用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜[J]. 光学仪器,1999(Z1):22-26. |
APA | 王国田,马月英,&曹健林.(1999).用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜.光学仪器(Z1),22-26. |
MLA | 王国田,et al."用离子束溅射法制备长波段X射线多层膜".光学仪器 .Z1(1999):22-26. |
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