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LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究
王晓华; 任大翠
1997-12-30
发表期刊长春光学精密机械学院学报
期号04页码:25-26+40
关键词液相外延 扫描电子显微镜 超薄层
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31849
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
王晓华,任大翠. LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究[J]. 长春光学精密机械学院学报,1997(04):25-26+40.
APA 王晓华,&任大翠.(1997).LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究.长春光学精密机械学院学报(04),25-26+40.
MLA 王晓华,et al."LPE生长外延片超薄有源层结构的SEM研究".长春光学精密机械学院学报 .04(1997):25-26+40.
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