Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 激光直写设备调焦伺服控制系统的研究 | |
| 熊木地; 肖文礼; 邢忠宝 | |
| 2000-02-29 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 01页码:79-82 |
| 关键词 | 二元光学激光直写设备 二级调焦系统 两点探焦法 归一化处理 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31408 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 熊木地,肖文礼,邢忠宝. 激光直写设备调焦伺服控制系统的研究[J]. 光学精密工程,2000(01):79-82. |
| APA | 熊木地,肖文礼,&邢忠宝.(2000).激光直写设备调焦伺服控制系统的研究.光学精密工程(01),79-82. |
| MLA | 熊木地,et al."激光直写设备调焦伺服控制系统的研究".光学精密工程 .01(2000):79-82. |
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