CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究
李路明; 王立鼎
1997-02-28
发表期刊光学精密工程
期号01页码:68-74
关键词微型系统 微机械
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31187
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
李路明,王立鼎. MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究[J]. 光学精密工程,1997(01):68-74.
APA 李路明,&王立鼎.(1997).MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究.光学精密工程(01),68-74.
MLA 李路明,et al."MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究".光学精密工程 .01(1997):68-74.
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