Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 高精度标准型直线感应同步器母版刻制工艺的探讨 | |
| 董连和; 马宏; 王连成 | |
| 1990-04-02 | |
| 发表期刊 | 长春光学精密机械学院学报
 |
| 期号 | 01页码:54-58 |
| 关键词 | 光刻 感应同步器 母版 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/31036 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 董连和,马宏,王连成. 高精度标准型直线感应同步器母版刻制工艺的探讨[J]. 长春光学精密机械学院学报,1990(01):54-58. |
| APA | 董连和,马宏,&王连成.(1990).高精度标准型直线感应同步器母版刻制工艺的探讨.长春光学精密机械学院学报(01),54-58. |
| MLA | 董连和,et al."高精度标准型直线感应同步器母版刻制工艺的探讨".长春光学精密机械学院学报 .01(1990):54-58. |
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