CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
X射线聚束透镜原理及其应用
郭玉彬; 李福田
1994-12-30
发表期刊微细加工技术
期号04页码:1-6
关键词X射线 透镜 光刻
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30731
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
郭玉彬,李福田. X射线聚束透镜原理及其应用[J]. 微细加工技术,1994(04):1-6.
APA 郭玉彬,&李福田.(1994).X射线聚束透镜原理及其应用.微细加工技术(04),1-6.
MLA 郭玉彬,et al."X射线聚束透镜原理及其应用".微细加工技术 .04(1994):1-6.
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