Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| IH工艺在微机械中的应用 | |
| 崔天宏; 王立鼎; 吕琼莹; 汪洪涛 | |
| 1994-12-30 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 06页码:18-23 |
| 关键词 | Ih工艺 微机械 立体光刻 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30558 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 崔天宏,王立鼎,吕琼莹,等. IH工艺在微机械中的应用[J]. 光学精密工程,1994(06):18-23. |
| APA | 崔天宏,王立鼎,吕琼莹,&汪洪涛.(1994).IH工艺在微机械中的应用.光学精密工程(06),18-23. |
| MLA | 崔天宏,et al."IH工艺在微机械中的应用".光学精密工程 .06(1994):18-23. |
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