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基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
作者:  陈琦;  钟君
caj(165Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：322/113  |  提交时间：2015/04/17
压电陶瓷  纳米定位  气浮导轨  激光干涉仪  
基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
作者:  陈琦
Unknown(565Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：244/69  |  提交时间：2015/04/17
纳米定位  压电陶瓷  气浮导轨  电容微位移传感器  
纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法 期刊论文
压电与声光, 1996, 期号: 03, 页码: 207-211
作者:  吴一辉;  王立鼎
caj(338Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：344/49  |  提交时间：2013/03/11
Pzt致动器  纳米定位  滞后  蠕变  
纳米X－Y工作台固有频率特性的研究 期刊论文
光学精密工程, 1995, 期号: 06, 页码: 50-54
作者:  吴一辉;  杨洪波
caj(169Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：432/49  |  提交时间：2013/03/11
纳米定位  X—y工作台  固有频率特性