Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 软X射线多层膜光栅 | |
曹召良 ; 张立超; 曹健林
| |
| 2004-06-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 02页码:1-7 |
| 关键词 | 软x射线 多层膜 光栅 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30074 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 曹召良,张立超,曹健林. 软X射线多层膜光栅[J]. 微细加工技术,2004(02):1-7. |
| APA | 曹召良,张立超,&曹健林.(2004).软X射线多层膜光栅.微细加工技术(02),1-7. |
| MLA | 曹召良,et al."软X射线多层膜光栅".微细加工技术 .02(2004):1-7. |
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