Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 激光直写系统焦斑整形的研究 | |
李凤友; 李红军; 卢振武 ; 廖江红
| |
| 2001-02-28 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 01页码:14-18 |
| 关键词 | 激光直写 光束整形 Doe |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29812 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李凤友,李红军,卢振武,等. 激光直写系统焦斑整形的研究[J]. 光学精密工程,2001(01):14-18. |
| APA | 李凤友,李红军,卢振武,&廖江红.(2001).激光直写系统焦斑整形的研究.光学精密工程(01),14-18. |
| MLA | 李凤友,et al."激光直写系统焦斑整形的研究".光学精密工程 .01(2001):14-18. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 激光直写系统焦斑整形的研究.caj（104KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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