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Fe靶激光等离子体25~60nm波段光谱实验研究
张大威; 齐立红; 李忠芳; 陈淑妍; 尼启良; 陈波
2005-01-20
发表期刊光学技术
期号01页码:14-16
关键词激光等离子体 Euv 光谱测量 谱线认证
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29756
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
张大威,齐立红,李忠芳,等. Fe靶激光等离子体25~60nm波段光谱实验研究[J]. 光学技术,2005(01):14-16.
APA 张大威,齐立红,李忠芳,陈淑妍,尼启良,&陈波.(2005).Fe靶激光等离子体25~60nm波段光谱实验研究.光学技术(01),14-16.
MLA 张大威,et al."Fe靶激光等离子体25~60nm波段光谱实验研究".光学技术 .01(2005):14-16.
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