Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 极紫外多层膜制备工艺研究 | |
| 王占山; 马月英 | |
| 2001-11-20 | |
| 发表期刊 | 光学技术
 |
| 期号 | 06页码:532-534 |
| 关键词 | 极紫外 多层膜 磁控溅射 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/29616 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王占山,马月英. 极紫外多层膜制备工艺研究[J]. 光学技术,2001(06):532-534. |
| APA | 王占山,&马月英.(2001).极紫外多层膜制备工艺研究.光学技术(06),532-534. |
| MLA | 王占山,et al."极紫外多层膜制备工艺研究".光学技术 .06(2001):532-534. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 极紫外多层膜制备工艺研究.caj（56KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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