Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台 | |
解滨; 尼启良 ; 巩岩; 曹继红; 陈波
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| 2003-06-30 | |
| 发表期刊 | 测试技术学报
 |
| 期号 | 02页码:138-140 |
| 关键词 | 极紫外多层膜 反射率 步进电机 平台 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28657 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 解滨,尼启良,巩岩,等. 一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台[J]. 测试技术学报,2003(02):138-140. |
| APA | 解滨,尼启良,巩岩,曹继红,&陈波.(2003).一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台.测试技术学报(02),138-140. |
| MLA | 解滨,et al."一种用于极紫外多层膜反射率测量的平台".测试技术学报 .02(2003):138-140. |
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