Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究 | |
| 宋文荣; 于国飞; 王延风; 何惠阳; 田兴志 | |
| 2003-03-30 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 01页码:15-21 |
| 关键词 | 光刻 磁悬浮 X-y工件台 定位精度 步进扫描 逐场调平调焦 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28349 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 宋文荣,于国飞,王延风,等. 六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究[J]. 微细加工技术,2003(01):15-21. |
| APA | 宋文荣,于国飞,王延风,何惠阳,&田兴志.(2003).六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究.微细加工技术(01),15-21. |
| MLA | 宋文荣,et al."六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究".微细加工技术 .01(2003):15-21. |
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| 六维磁悬浮纳米级精密工件台的研究.caj（77KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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