Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
微结构气体传感器的加热器设计与模拟 | |
张彤; 杨广立; 李春明; 徐宝琨 | |
2004-05-18 | |
发表期刊 | 测控技术 |
期号 | 05页码:12-13 |
关键词 | 硅基 气体传感器 微加热器 有限元分析 温度分布 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28318 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 张彤,杨广立,李春明,等. 微结构气体传感器的加热器设计与模拟[J]. 测控技术,2004(05):12-13. |
APA | 张彤,杨广立,李春明,&徐宝琨.(2004).微结构气体传感器的加热器设计与模拟.测控技术(05),12-13. |
MLA | 张彤,et al."微结构气体传感器的加热器设计与模拟".测控技术 .05(2004):12-13. |
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