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微结构气体传感器的加热器设计与模拟
张彤; 杨广立; 李春明; 徐宝琨
2004-05-18
发表期刊测控技术
期号05页码:12-13
关键词硅基 气体传感器 微加热器 有限元分析 温度分布
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28318
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
张彤,杨广立,李春明,等. 微结构气体传感器的加热器设计与模拟[J]. 测控技术,2004(05):12-13.
APA 张彤,杨广立,李春明,&徐宝琨.(2004).微结构气体传感器的加热器设计与模拟.测控技术(05),12-13.
MLA 张彤,et al."微结构气体传感器的加热器设计与模拟".测控技术 .05(2004):12-13.
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