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微结构气体传感器的加热器设计与模拟 期刊论文
测控技术, 2004, 期号: 05, 页码: 12-13
作者:  张彤;  杨广立;  李春明;  徐宝琨
caj(31Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/96  |  提交时间：2013/03/11
硅基  气体传感器  微加热器  有限元分析  温度分布