CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量
喻波; 李春; 金春水
2011-11-10
发表期刊中国激光
期号11页码:220-225
关键词薄膜 Mo/si多层膜 扩散系数 掠入射x射线反射谱 四层模型 极紫外
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27759
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
喻波,李春,金春水. 基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量[J]. 中国激光,2011(11):220-225.
APA 喻波,李春,&金春水.(2011).基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量.中国激光(11),220-225.
MLA 喻波,et al."基于掠入射X射线反射谱的Mo/Si多层膜扩散系数测量".中国激光 .11(2011):220-225.
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