Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展 | |
张立超 ; 高劲松
| |
| 2012-11-15 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 11页码:2395-2401 |
| 关键词 | 深紫外光学 光学薄膜 薄膜沉积 薄膜测量 透过率 面形精度 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27358 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张立超,高劲松. 长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展[J]. 光学精密工程,2012(11):2395-2401. |
| APA | 张立超,&高劲松.(2012).长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展.光学精密工程(11),2395-2401. |
| MLA | 张立超,et al."长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展".光学精密工程 .11(2012):2395-2401. |
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| 长春光机所深紫外光学薄膜技术研究进展.c（462KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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