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新型2_2聚合物波导垂直耦合器的研究
鄂书林
2007-08-08
发表期刊光通信技术
期号8
摘要对2×2聚合物波导垂直耦合器的理论设计和制作过程进行了研究。首先,利用光束传播法(BPM)设计并研究了垂直耦合器的关键参数(交叉角、垂直耦合层厚度)与耦合效率和消光比之间的关系。模拟结果表明,耦合效率最高为93%,消光比最高为29dB。其次,利用标准光刻工艺制作了波导尺寸为4×4μm,垂直耦合层厚度为2μm,相对交叉角为1.0°的聚合物波导垂直耦合器。实验结果表明,采用聚合物制备波导垂直耦合器,具有工艺简单、灵活的优点。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23929
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
鄂书林. 新型2_2聚合物波导垂直耦合器的研究[J]. 光通信技术,2007(8).
APA 鄂书林.(2007).新型2_2聚合物波导垂直耦合器的研究.光通信技术(8).
MLA 鄂书林."新型2_2聚合物波导垂直耦合器的研究".光通信技术 .8(2007).
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