Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法 | |
张立超
| |
| 2007-06-15 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 3 |
| 摘要 | 在极紫外多层膜反射镜中,基底高频粗糙度是影响多层膜反射率的重要因素。通过在粗糙基底上镀制平滑层薄膜,可以有效降低基底粗糙度。叙述了平滑层减小多层膜基底粗糙度的原理,研究了不同镀膜工艺条件下平滑层对基底粗糙度减小效果的影响。结果表明,当工艺参数选择合适时,在粗糙基底上镀制平滑层,可以减小基底粗糙度。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23896 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张立超. 利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法[J]. 微细加工技术,2007(3). |
| APA | 张立超.(2007).利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法.微细加工技术(3). |
| MLA | 张立超."利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方法".微细加工技术 .3(2007). |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 利用平滑层减小极紫外多层膜基底粗糙度的方（169KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [张立超]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [张立超]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [张立超]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论