Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 子孔径拼接干涉法检测非球面 | |
| 张学军 | |
| 2007-02-28 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| 期号 | 2 |
| 摘要 | 介绍了子孔径拼接干涉检测非球面的理论和方法,分析了其基本原理,基于齐次坐标变换、最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了一种合理的拼接算法和数学模型。对一抛物面镜进行了五个子孔径的计算机模拟拼接实验,拼接前后全孔径面形误差分布是一致的,其PV值和RMS值的偏差分别为-0.0092λ和0.0013λ;全口径相位分布的PV值和RMS值的相对误差分别为-0.39%和0.44%。实验结果表明,利用子孔径拼接技术不需要零位补偿就能实现对较大口径非球面的测量。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23815 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 张学军. 子孔径拼接干涉法检测非球面[J]. 光学精密工程,2007(2). |
| APA | 张学军.(2007).子孔径拼接干涉法检测非球面.光学精密工程(2). |
| MLA | 张学军."子孔径拼接干涉法检测非球面".光学精密工程 .2(2007). |
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| 子孔径拼接干涉法检测非球面.caj（385KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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