Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 一种微电解池式微流量传感器的研制 | |
吴一辉
| |
| 2007-02-15 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 1 |
| 摘要 | 基于电解质溶液导电的特性,研制了可测量微升级流量的高灵敏度微电解池式微流量传感器。由电解反应产生的电流大小确定流体流过的时间t,再根据流体流量Q、管道截面积S及液体通过的时间t,即可以得出流过管道的液体量。用流体仿真软件CFX对所设计的器件进行仿真,用微机械加工工艺制作出微管道,并用蒸镀及金属腐蚀的方法制作出微电极。实验表明,所制作的微电解池式微流量传感器符合仿真结果,管道中有无流体时电流变化明显。传感器的灵敏度为蠕动泵的泵速,即1.71μA.s/μL,当蠕动泵的泵速为0.5r/min时,测得的电流值为10μА。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23796 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 吴一辉. 一种微电解池式微流量传感器的研制[J]. 微细加工技术,2007(1). |
| APA | 吴一辉.(2007).一种微电解池式微流量传感器的研制.微细加工技术(1). |
| MLA | 吴一辉."一种微电解池式微流量传感器的研制".微细加工技术 .1(2007). |
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| 一种微电解池式微流量传感器的研制.caj（363KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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