Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 高精度长线列密排光纤阵列的制作研究 | |
梁静秋
| |
| 2007-02-15 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| 期号 | 1 |
| 摘要 | 本文讨论了利用硅V型槽法制作高精度线性光纤阵列的可行性,介绍了硅V型槽制作机理,对影响器件精度的主要因素进行了分析,并在器件设计、制作中给予充分考虑。根据器件的可靠性要求,分析了用于光纤粘接的粘接剂应满足的特性,并对紫外固化胶和红外粘接剂进行实验对比,结果表明,Norland紫外固化胶和353ND红外粘接剂为最佳选择。用各向异性湿法腐蚀技术制作了硅V型槽,进行了光纤排列、定位及端面处理,制作出了高精度线性光纤阵列。对端面面型误差和表面粗糙度的测试后,结果表明光纤阵列端面纵向位置误差≤324nm,表面粗糙度均方根值小于3.85nm。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23795 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 梁静秋. 高精度长线列密排光纤阵列的制作研究[J]. 微细加工技术,2007(1). |
| APA | 梁静秋.(2007).高精度长线列密排光纤阵列的制作研究.微细加工技术(1). |
| MLA | 梁静秋."高精度长线列密排光纤阵列的制作研究".微细加工技术 .1(2007). |
| 条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 高精度长线列密排光纤阵列的制作研究.ca（231KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [梁静秋]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [梁静秋]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [梁静秋]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论