Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 32信道聚合物阵列波导光栅的制作与测试 | |
鄂书林
| |
| 2006-06-08 | |
| 发表期刊 | 光通信技术
 |
| ISSN | 1002-5561 |
| 卷号 | 6期号:30页码:22 |
| 摘要 | 对一个32通道的聚合物阵列波导光栅进行了研究和制作。经过旋涂、光刻、反应离子刻蚀等工艺过程,利用Al掩膜技术和回融技术进行了器件的制作。实验结果表明,回融技术使样本的波导表面的均方根粗糙度降低了约0.02μm。测试结果表明,器件的结构指标与理论设计值基本相符,并且波导在C波段上实现了单模传输。器件的插入损耗约为35dB,相邻通道串扰小于-20dB,很好地实现了波分复用功能。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23749 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 鄂书林. 32信道聚合物阵列波导光栅的制作与测试[J]. 光通信技术,2006,6(30):22. |
| APA | 鄂书林.(2006).32信道聚合物阵列波导光栅的制作与测试.光通信技术,6(30),22. |
| MLA | 鄂书林."32信道聚合物阵列波导光栅的制作与测试".光通信技术 6.30(2006):22. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
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