Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 多电极静电拉伸薄膜反射镜的面形优化 | |
| 金光; 张元; 钟兴 | |
| 2010-10-02 | |
| 发表期刊 | 光电子·激光
 |
| ISSN | 1005-0086 |
| 卷号 | 21期号:10页码:1515-1518 |
| 摘要 | 为了提高多电极静电拉伸薄膜反射镜的面形精度,基于Henky-Campbell圆薄膜平衡方程分析了薄膜均布载荷作用下的拉伸成形和面形误差。采用ANSYS软件一阶优化法,建立了以薄膜屈服强度为状态变量,镜面3个同心环形区域上施加的载荷为设计变量,以反射镜面形与理想面形的最小均方根误差(RMS)为目标的优化模型,对口径300mm、中心挠度分别为0.5、1.0和1.5mm的薄膜反射镜面形进行了优化。实验中优化后的最佳镜面面形RMS为7.73μm,PV值为50.69μm,较优化前分别减少了30.2%和23.7%。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23434 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金光,张元,钟兴. 多电极静电拉伸薄膜反射镜的面形优化[J]. 光电子·激光,2010,21(10):1515-1518. |
| APA | 金光,张元,&钟兴.(2010).多电极静电拉伸薄膜反射镜的面形优化.光电子·激光,21(10),1515-1518. |
| MLA | 金光,et al."多电极静电拉伸薄膜反射镜的面形优化".光电子·激光 21.10(2010):1515-1518. |
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