Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| Lamb波压差式微流量传感器 | |
| 贾宏光 | |
| 2009-05-20 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 5期号:17 |
| 摘要 | 为提高微流体系统中的流量检测灵敏度,增大动态检测范围,实现温度补偿,提出了一种基于Lamb波的压差式微流量传感系统。该传感系统主要由两个Lamb波压力传感器和微通道组成,它利用Lamb波薄膜内应力的敏感特性,以频率计量的方式间接测量微通道两端的压力差;并采用双Lamb波压力传感器构成差动式测量结构进行温度补偿。对长20mm,宽1mm,高50μm的微通道进行了流量测试实验,结果表明:在流量测试范围内,微通道两端的频率差与流量基本呈线性变化,其线性相关系数为0.9999;在微流量传感器未进行优化的前提下,最小检测量为0.627μL/s。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23369 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 贾宏光. Lamb波压差式微流量传感器[J]. 光学精密工程,2009,5(17). |
| APA | 贾宏光.(2009).Lamb波压差式微流量传感器.光学精密工程,5(17). |
| MLA | 贾宏光."Lamb波压差式微流量传感器".光学精密工程 5.17(2009). |
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| Lamb波压差式微流量传感器.caj（336KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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