Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 临界角法检焦系统的设计 | |
郝贤鹏 ; 任建岳
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| 2009-03-21 | |
| 发表期刊 | 光学精密工程
 |
| ISSN | 1004-924X |
| 卷号 | 3期号:17页码:537 |
| 摘要 | 利用临界角法检焦具有分辨力高、损失光能小、结构简单、系统调试容易的特点设计了亚微米级检焦系统。介绍了临界角法离焦检测的基本原理,通过合理假设,利用菲涅尔公式和高斯光学公式得到了离焦误差信号的计算公式。实验采用单光路临界角法,利用He-Ne激光器、临界角棱镜、四象限光电探测器、信号采样电路、数据采集卡等元器件组成离焦检测系统,实现离焦信号的提取;通过数字滤波、归一化处理等技术得到离焦误差信号(FES),以此获得FES的大小和变化趋势与离焦量的关系曲线。实验表明,临界角法探焦系统静态分辨力<15nm、线性范围可达±4μm,满足亚微米级检焦系统的设计要求。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23344 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郝贤鹏,任建岳. 临界角法检焦系统的设计[J]. 光学精密工程,2009,3(17):537. |
| APA | 郝贤鹏,&任建岳.(2009).临界角法检焦系统的设计.光学精密工程,3(17),537. |
| MLA | 郝贤鹏,et al."临界角法检焦系统的设计".光学精密工程 3.17(2009):537. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 临界角法检焦系统的设计.caj（129KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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