Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证 | |
巴音贺希格; 李文昊 | |
2008-02-01 | |
发表期刊 | 光学精密工程
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期号 | 2 |
摘要 | 建立了凹球面基底离心式涂胶的数学模型。基于流体力学理论对旋转凹球面上的光刻胶做了受力分析,根据凹球面的面形给出了流体方程的边界条件,并引入和建立了光刻胶蒸发速率对涂胶基底面形的响应关系式,最终得到了一个描述光刻胶厚度随转速、基底面形及光刻胶参数变化的多项式方程,从此方程又简化得到平面上离心式涂胶的数学模型。涂胶实验结果表明,在凹球面上和平面上的光刻胶厚度理论计算值与测量值吻合,精度达到了纳米级。所建立的模型有较好的预见性和实用性。 |
收录类别 | EI |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23131 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 巴音贺希格,李文昊. 凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证[J]. 光学精密工程,2008(2). |
APA | 巴音贺希格,&李文昊.(2008).凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证.光学精密工程(2). |
MLA | 巴音贺希格,et al."凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证".光学精密工程 .2(2008). |
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