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SPR传感芯片的理论与实验研究
吴一辉
2008-02-01
发表期刊传感技术学报
期号2
摘要针对光纤SPR(表面等离子体共振)传感器制作工艺复杂的问题,提出了一种光纤先固定后部分镀膜的SPR传感芯片的制作方法。依据电磁场和射线理论,分析并讨论了此种波长调制部分镀膜SPR传感芯片的工作原理,采用MEMS制作工艺对探测光纤进行封装固定以后,再对光纤进行部分镀膜,其结构简单,工艺性好,易于实现批量化。最后,搭建了一套基于波长检测的光纤SPR测试系统对其进行测试。实验结果表明:在折射率范围为1.33~1.36时,共振波长同折射率具有良好的线性关系,光谱仪分辨率为0.1nm时,其分辨率可达到3×10-5折射率单位。
收录类别EI
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23129
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
吴一辉. SPR传感芯片的理论与实验研究[J]. 传感技术学报,2008(2).
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MLA 吴一辉."SPR传感芯片的理论与实验研究".传感技术学报 .2(2008).
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