Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制 | |
| 李英海; 巴音贺希格; 齐向东 | |
| 2006-12-15 | |
| 发表期刊 | 微细加工技术
 |
| ISSN | 1003-8213 |
| 卷号 | 12期号:6页码:1 |
| 摘要 | 为了解决衍射光栅的表面精度,提高衍射效率,分析了衍射光栅刻划中金刚石刻划刀的定向与耐用度的关系,围绕光栅刻划刀磨制过程中如何解决振动这一关键问题,从工艺方面进行了探讨。通过确立金刚石刻划刀的定向,并在研磨过程中加以实施,使刻划刀的耐用度和寿命得到了提高。采取有效抑制导致刻划刀磨制环节中振动因素等手段,使刻划刀几个面和刀刃的粗糙度降低到0.006,刻制出的光栅衍射效率约提高了15%~20%。 |
| 收录类别 | EI |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22997 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李英海,巴音贺希格,齐向东. 用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制[J]. 微细加工技术,2006,12(6):1. |
| APA | 李英海,巴音贺希格,&齐向东.(2006).用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制.微细加工技术,12(6),1. |
| MLA | 李英海,et al."用于衍射光栅刻划的超精密金刚石刻刀的研制".微细加工技术 12.6(2006):1. |
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