Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
影响球面激光直写线宽均匀度的关键技术 | |
胡君 | |
2006-03-30 | |
发表期刊 | 光电工程 |
ISSN | 1003-501X |
卷号 | 3期号:33页码:1 |
摘要 | 为提高球面激光直写图形线宽均匀度,提出了球面激光直写四轴同心结构和同心扫描光学系统的方案。这种方案使得激光束经水平轴、垂直轴、光轴和工件中心轴相交于球心,经球心反射镜反射到球面工件表面上,形成激光曝光光斑。采用微小离焦探测和复合闭环控制的自动调焦技术与计算机并行工作的控制方法,确保了球面工件以垂直轴为轴心沿水平方向精密匀速旋转;激光笔绕水平轴以俯仰弧形轨迹移动且精准定位;激光束经写入物镜和调焦系统始终以圆形光点聚焦在球面上,实现了对球面任意纬度连续激光直写线条精度的可靠控制。原子力显微镜检测分析结果表明,在球面上激光直写出约3μm宽线条,线宽均匀度10%左右。 |
收录类别 | EI |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22910 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 胡君. 影响球面激光直写线宽均匀度的关键技术[J]. 光电工程,2006,3(33):1. |
APA | 胡君.(2006).影响球面激光直写线宽均匀度的关键技术.光电工程,3(33),1. |
MLA | 胡君."影响球面激光直写线宽均匀度的关键技术".光电工程 3.33(2006):1. |
条目包含的文件 | 下载所有文件 | |||||
文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
影响球面激光直写线宽均匀度的关键技术.k(205KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
个性服务 |
推荐该条目 |
保存到收藏夹 |
查看访问统计 |
导出为Endnote文件 |
谷歌学术 |
谷歌学术中相似的文章 |
[胡君]的文章 |
百度学术 |
百度学术中相似的文章 |
[胡君]的文章 |
必应学术 |
必应学术中相似的文章 |
[胡君]的文章 |
相关权益政策 |
暂无数据 |
收藏/分享 |
除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。
修改评论