Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| ICP光源中负载匹配箱的设计 | |
王超 ; 石宝松
| |
| 2010-09-20 | |
| 发表期刊 | 现代制造工程
 |
| ISSN | 1671-3133 |
| 期号 | 9页码:132-134 |
| 摘要 | 阐述电感耦合等离子体(InductivelyCoupledPlasma,ICP)光源中负载匹配箱的设计方案,对等离子体产生过程中的负载阻抗变化进行深入分析。利用ADS软件对ICP光源负载阻抗的电路模型进行阻抗匹配仿真,根据仿真结果,提出等离子体产生过程中阻抗匹配网络的控制策略和参数范围。在多次等离子体的点火实验中,成功将氩气电离,顺利产生并稳定维持了环形球状等离子体火焰。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22810 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王超,石宝松. ICP光源中负载匹配箱的设计[J]. 现代制造工程,2010(9):132-134. |
| APA | 王超,&石宝松.(2010).ICP光源中负载匹配箱的设计.现代制造工程(9),132-134. |
| MLA | 王超,et al."ICP光源中负载匹配箱的设计".现代制造工程 .9(2010):132-134. |
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| ICP光源中负载匹配箱的设计.caj（163KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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