Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| ICP光源中射频功率测量装置的设计 | |
王超 ; 金星; 石宝松; 杜江
| |
| 2010-05-10 | |
| 发表期刊 | 化工自动化及仪表
 |
| ISSN | 1000-3932 |
| 期号 | 5 |
| 摘要 | 阐述ICP光源中射频功率测量的意义,提出了测量范围为100~1500W,频率为27.12MHz的功率测量装置的设计方案。详细分析了射频功率测量装置中的电路设计,包括采样互感器、功率合成电路、幅度相位分析电路和移相电路,并给出了判断ICP光源负载状态和性质的方法。在实验中,利用BIRD43型功率计和BIRD4304A型功率计对射频功率测量装置进行了参数校准。 |
| 关键词 | Icp光源 功率测量 射频 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22627 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王超,金星,石宝松,等. ICP光源中射频功率测量装置的设计[J]. 化工自动化及仪表,2010(5). |
| APA | 王超,金星,石宝松,&杜江.(2010).ICP光源中射频功率测量装置的设计.化工自动化及仪表(5). |
| MLA | 王超,et al."ICP光源中射频功率测量装置的设计".化工自动化及仪表 .5(2010). |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| ICP光源中射频功率测量装置的设计.ca（186KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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