Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
ICP光源中射频功率测量装置的设计 | |
王超![]() ![]() | |
2010-05-10 | |
发表期刊 | 化工自动化及仪表
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ISSN | 1000-3932 |
期号 | 5 |
摘要 | 阐述ICP光源中射频功率测量的意义,提出了测量范围为100~1500W,频率为27.12MHz的功率测量装置的设计方案。详细分析了射频功率测量装置中的电路设计,包括采样互感器、功率合成电路、幅度相位分析电路和移相电路,并给出了判断ICP光源负载状态和性质的方法。在实验中,利用BIRD43型功率计和BIRD4304A型功率计对射频功率测量装置进行了参数校准。 |
关键词 | Icp光源 功率测量 射频 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22627 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 王超,金星,石宝松,等. ICP光源中射频功率测量装置的设计[J]. 化工自动化及仪表,2010(5). |
APA | 王超,金星,石宝松,&杜江.(2010).ICP光源中射频功率测量装置的设计.化工自动化及仪表(5). |
MLA | 王超,et al."ICP光源中射频功率测量装置的设计".化工自动化及仪表 .5(2010). |
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ICP光源中射频功率测量装置的设计.ca(186KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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