Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 补偿器法检测非球面过程中易出现的误区 | |
| 明名; 杨飞; 陈宝刚; 李剑峰; 林旭东 | |
| 2010-10-20 | |
| 发表期刊 | 光电工程
 |
| ISSN | 1003-501X |
| 卷号 | 37期号:10页码:116-121 |
| 摘要 | 补偿器法是测量非球面反射镜面形误差的一种重要的方法。在检测过程中,各个元件之间的调整会带来初级像差,这是影响最终检测结果的一个关键因素。本文以一个1m口径的非球面反射镜为例,首先详述了其面形误差检测的设计和测量过程,然后分析了各个元件的调整会带来相应的初级像差,随后给出了实际检测过程中出现的误区,并对其进行了分析和讨论,结合实际的检测过程得出了相应的判断和消除的方法。最后,分别对300mm、700mm口径非球面反射镜与本文1m非球面镜的检测结果进行了比较,证明了该误区会使最后的检测数据发生变化,从而使最后的检测结果失真,并验证了先判别后消除方法的可靠性。最后利用正确的方法,检测得到1m口径非球面被测镜的RMS面形误差为0.038λ,满足指标要求。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22285 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 明名,杨飞,陈宝刚,等. 补偿器法检测非球面过程中易出现的误区[J]. 光电工程,2010,37(10):116-121. |
| APA | 明名,杨飞,陈宝刚,李剑峰,&林旭东.(2010).补偿器法检测非球面过程中易出现的误区.光电工程,37(10),116-121. |
| MLA | 明名,et al."补偿器法检测非球面过程中易出现的误区".光电工程 37.10(2010):116-121. |
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| 补偿器法检测非球面过程中易出现的误区.k（1382KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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