Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 薄反射镜主动光学实验系统 | |
| 李宏壮; 王建立 | |
| 2009-06-04 | |
| 发表期刊 | 光电工程
 |
| ISSN | 1003-501X |
| 卷号 | 6期号:36页码:120 |
| 摘要 | 用口径400mm、厚12mm的薄反射镜作为实验镜进行了主动光学实验。支撑系统由背部12个主动支撑点和3个固定支撑点组成,主动支撑点采用由压电陶瓷促动器和压力传感器组成的力促动器,用于控制实验镜面形,固定支撑点用于控制实验镜的定位。通过Shack-Harmann波前传感器测量镜面面形并拟合出Zernike像差,用阻尼最小二乘法计算出校正力,通过PID算法闭环控制各促动器施加力的过程。通过主动校正,将初始支撑状态下的1.16λ(λ=632.8nm)RMS面形精度校正到0.07λRMS,优于镜面抛光后的0.1λRMS。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/22136 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李宏壮,王建立. 薄反射镜主动光学实验系统[J]. 光电工程,2009,6(36):120. |
| APA | 李宏壮,&王建立.(2009).薄反射镜主动光学实验系统.光电工程,6(36),120. |
| MLA | 李宏壮,et al."薄反射镜主动光学实验系统".光电工程 6.36(2009):120. |
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