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一种三次非旋转对称的相位板的检测系统设计
许英朝; 张新; 周平
2008-05-15
发表期刊光学学报
ISSN0253-2239
期号5
摘要作为零位干涉检测方法中非常有前途的一种方法,计算全息可以用于非旋转对称的非球面的检测。以三次相位板为例,阐述了利用计算全息图检测非旋转对称的非球面的基本原理。分析并推导了三次相位传播过程引入的高阶波像差的理论公式,给出了三次相位板的检测系统的设计结果。详细讨论了计算全息图衍射级次的分离以及计算全息图的二元化,给出了振幅型的计算全息图的图样。计算全息图的刻线最小间隔是40μm,计算全息图的制作精度对检测结果的波前误差的影响仅仅为0.005λ。对检测系统作了详细的公差分析,结果表明所有调整公差对整个检测系统的影响和方根值为83.954nm。
关键词光学设计 计算全息 检测 级次分离 公差分析
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21628
专题中科院长春光机所知识产出
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GB/T 7714
许英朝,张新,周平. 一种三次非旋转对称的相位板的检测系统设计[J]. 光学学报,2008(5).
APA 许英朝,张新,&周平.(2008).一种三次非旋转对称的相位板的检测系统设计.光学学报(5).
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