Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响 | |
| 李文昊 | |
| 2008-12-03 | |
| 发表期刊 | 中国光学与应用光学
 |
| 期号 | Z1 |
| 摘要 | 波前像差是衍射光栅的重要技术指标,它直接影响光栅的分辨率。由光致刻蚀剂记录两束相干光干涉条纹是制作全息光栅的关键步骤。为了提高全息光栅曝光系统调整精度、减小离焦、降低光栅的衍射波前像差,从离焦对反射球面准直镜的准直光平行度的影响程度出发,分析了准直光平行度对全息光栅衍射波前像差的影响。理论分析和数值模拟结果表明,准直镜调整误差直接决定全息光栅衍射波前像差大小。以3种不同刻线密度光栅为例,得出了准直镜调整误差的允许变化范围。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21490 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李文昊. 曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响[J]. 中国光学与应用光学,2008(Z1). |
| APA | 李文昊.(2008).曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响.中国光学与应用光学(Z1). |
| MLA | 李文昊."曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响".中国光学与应用光学 .Z1(2008). |
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