Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| X射线衍射仪样品装调误差分析与校正 | |
金春水 ; 张立超
| |
| 2008-01-02 | |
| 发表期刊 | 分析仪器
 |
| 期号 | 1 |
| 摘要 | 使用X射线衍射仪分析样品,测试角度误差的大小影响着分析结果的准确性,而样品装调误差会导致测试角度误差。本文系统分析了样品装调对测试角度误差的影响。结论是,转动误差和偏心误差对测量误差影响较大,一般需要校正;俯仰误差对测量结果影响较小,一般不用校正。实验表明,通过校正样品装调后的转动误差和偏心误差,可以将测量角度随机性误差控制在0.006°(2θ)以内,并将周期厚度为17nm左右的[Mo/Si]多层膜的测试周期厚度精确到0.1nm,为极紫外区高精度膜厚控制提供了保证。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21440 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,张立超. X射线衍射仪样品装调误差分析与校正[J]. 分析仪器,2008(1). |
| APA | 金春水,&张立超.(2008).X射线衍射仪样品装调误差分析与校正.分析仪器(1). |
| MLA | 金春水,et al."X射线衍射仪样品装调误差分析与校正".分析仪器 .1(2008). |
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