Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进 | |
| 王文博; 王晓慧; 黄苒; 欧毅; 杜寰; 夏洋; 韩郑生; 冯亚云; 凌志华 | |
| 2008-10-15 | |
| 发表期刊 | 液晶与显示
 |
| ISSN | 1007-2780 |
| 期号 | 5 |
| 摘要 | 介绍了LCoS技术的特点与发展现状,LCoS性能的优劣与硅基片平整度有直接关系,着重进行了LCoS微显示驱动技术表面形貌的研究与改进。通过严格控制工艺步骤,降低台阶高度;合理设计版图布局,使台阶叠加在隔离像素区域的沟槽中,这样既能实现像素电极区域的局部平坦化,又因为沟槽不作为显示区域,对整体显示效果影响较小。 |
| 关键词 | Lcos 微显示 Cmp 镜面电极 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21375 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王文博,王晓慧,黄苒,等. LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进[J]. 液晶与显示,2008(5). |
| APA | 王文博.,王晓慧.,黄苒.,欧毅.,杜寰.,...&凌志华.(2008).LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进.液晶与显示(5). |
| MLA | 王文博,et al."LCoS微显示驱动芯片表面形貌研究与改进".液晶与显示 .5(2008). |
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